# EFEM

**Repository Path**: wangfs763/efem

## Basic Information

- **Project Name**: EFEM
- **Description**: 芯片制造厂 EFEM 仿真与控制程序
- **Primary Language**: C#
- **License**: GPL-3.0
- **Default Branch**: master
- **Homepage**: None
- **GVP Project**: No

## Statistics

- **Stars**: 1
- **Forks**: 1
- **Created**: 2022-09-12
- **Last Updated**: 2024-11-21

## Categories & Tags

**Categories**: Uncategorized

**Tags**: EFEM, EFEM仿真, EFEM控制, Rorze

## README

# EFEM 仿真与控制软件

## 介绍
EFEM作为晶圆厂商的核心设备之一，用于负责在多个其它设备之间传输晶圆。

仿真软件的目的是仿真EFEM设备上的服务软件，用软件的形式仿真实物的工作情况。

控制软件则根据EFEM厂家的通信协议与服务程序进行通信，达到控制EFEM设备的目的。



## 支持的协议

- Rorze（及类Rorze）